一、技術(shù)定位與產(chǎn)品架構(gòu)

TY-77系列是日本大成株式會(huì)社（TYSEI CO., LTD.）專為半導(dǎo)體及FPD（平板顯示器）大規(guī)模生產(chǎn)開發(fā)的大流量脫氣模組，針對(duì)濕法清洗、蝕刻、光刻膠剝離等工藝中溶解氣體導(dǎo)致的微氣泡缺陷問題，提供高流量、極低污染的在線脫氣解決方案。

該系列采用PFA（全氟烷氧基樹脂）中空纖維膜作為氣液分離介質(zhì)，結(jié)合TY-881型真空控制器，可實(shí)現(xiàn)1000~2000 mL/min流量范圍內(nèi)的穩(wěn)定脫氣，滿足產(chǎn)線級(jí)持續(xù)供液需求。

二、核心技術(shù)特點(diǎn)

2.1 全PFA接液部低污染設(shè)計(jì)

材質(zhì)純度：脫氣膜、纖維束結(jié)部及管路接合部全采用PFA（PTFE相當(dāng)級(jí)），杜絕金屬離子及有機(jī)物溶出

表面特性：中空纖維膜表面為非多孔質(zhì)光滑結(jié)構(gòu)，抑制顆粒附著，符合半導(dǎo)體制程對(duì)洗凈液、蝕刻液的高潔凈度要求

耐化學(xué)性：可應(yīng)對(duì)強(qiáng)酸、強(qiáng)堿及有機(jī)溶劑（如光刻膠剝離液），使用溫度50°C，耐壓0.3 MPa

2.2 大流量中空纖維膜技術(shù)

型號(hào)	額定流量	膜內(nèi)容積	80%脫氣率對(duì)應(yīng)流量	適用場(chǎng)景
TY-77050	≤1000 mL/min	680 mL	500 mL/min	中等流量清洗線
TY-77100	≤2000 mL/min	1350 mL	1000 mL/min	高流量主供液管
TY-77050P	≤1000 mL/min	680 mL	500 mL/min	低壓損需求回路

注：脫氣率測(cè)試條件為水中溶存氧、25°C環(huán)境

技術(shù)原理：利用中空纖維膜巨大的比表面積，在真空負(fù)壓（由TY-88110控制器精密調(diào)節(jié)）作用下，使液體中的溶解氣體（O?、N?、CO?等）透過膜壁向氣相側(cè)擴(kuò)散，實(shí)現(xiàn)氣液高效分離。

2.3 模塊化系統(tǒng)集成

分離式設(shè)計(jì)：脫氣模組（膜殼）與真空控制單元獨(dú)立，通過快接管道連接

管路接口：標(biāo)準(zhǔn)配置Super Pillar Φ10 mm入口，真空側(cè)采用快插接頭（Ф6 mm），支持Φ6~Φ10 mm或1/4"~3/8"管路定制

控制器配套：推薦搭配TY-881型控制器（AC100V驅(qū)動(dòng)），實(shí)現(xiàn)真空壓力精密調(diào)節(jié)，確保大流量下的脫氣效率穩(wěn)定性

三、半導(dǎo)體制造應(yīng)用優(yōu)勢(shì)

1. 微氣泡缺陷防控在半導(dǎo)體制程的濕法清洗和蝕刻工序中，供液中的微氣泡會(huì)導(dǎo)致：

晶圓表面圖案損傷

蝕刻不均勻（造成線寬偏差）

清洗死角（氣泡遮蔽效應(yīng)）

TY-77系列通過將溶解氧等氣體濃度降低至原來的20%以下（80%脫氣率），從源頭抑制微氣泡析出，提升制程良率。

2. 產(chǎn)線級(jí)流量適配區(qū)別于實(shí)驗(yàn)室級(jí)小流量脫氣器（通常<100 mL/min），TY-77系列專為批量生產(chǎn)（Mass Production）設(shè)計(jì)：

支持2000 mL/min（120 L/h）持續(xù)供液

680~1350 mL膜內(nèi)容積確保足夠的氣液接觸時(shí)間，即使在高流速下仍維持高效傳質(zhì)

3. 工藝兼容性適用于多種半導(dǎo)體濕法化學(xué)品：

SC-1/SC-2清洗液（NH?OH/H?O?/H?O等）

緩沖（BHF）

光刻膠剝離液（胺系、溶劑系）

超純水（DI Water）脫氣預(yù)處理

四、技術(shù)參數(shù)總結(jié)

項(xiàng)目	規(guī)格
接液材質(zhì)	PFA（膜、結(jié)束部、接合部全氟樹脂）
流量范圍	1000~2000 mL/min（依型號(hào)）
脫氣性能	80%脫氣率（O?，25°C）
耐壓等級(jí)	0.3 MPa
使用溫度	≤50°C
外形尺寸	Φ145×350 mm（TY-77050/P）；Φ165×350 mm（TY-77100）
安裝方式	在線直通式，支持水平/垂直安裝

五、結(jié)語

TYSEI TY-77系列通過全PFA材質(zhì)中空纖維膜與大流量優(yōu)化設(shè)計(jì)的結(jié)合，解決了半導(dǎo)體濕法工藝中"高潔凈度要求"與"大流量生產(chǎn)需求"的技術(shù)矛盾。其非多孔質(zhì)膜表面結(jié)構(gòu)有效抑制了制程中的二次污染，而1000~2000 mL/min的處理能力使其可直接集成于主供液管路，為12英寸晶圓廠及先進(jìn)封裝產(chǎn)線提供可靠的溶解氣體控制方案。