日本2ω法納米薄膜導(dǎo)熱儀TCN-2ω

該裝置是目前世界上唯yi使用2ω法測(cè)量納米薄膜厚度方向熱導(dǎo)率的商用裝置。與其他方法相比，樣品制作和測(cè)量更容易。

用

• 量化低K絕緣膜的熱阻，用于半導(dǎo)體器件的熱設(shè)計(jì)

• 絕緣膜的開(kāi)發(fā)與散熱的改善

• 熱電薄膜應(yīng)用評(píng)價(jià)

特征

• 可以測(cè)量在厚度方向上形成在基板上的 20 到 1000 nm 的薄膜的熱導(dǎo)率。

• 使用熱反射法通過(guò)溫度幅度檢測(cè)實(shí)現(xiàn)測(cè)量

• 測(cè)量樣品的簡(jiǎn)單預(yù)處理

規(guī)格

測(cè)量原理

論文“絕熱邊界條件下2ω法評(píng)估薄板樣品的熱導(dǎo)率"

當(dāng)以 f/Hz 的頻率加熱金屬薄膜時(shí)，加熱量以 2 f/Hz 的頻率變化。
金屬薄膜(0)-薄膜(1)-襯底(s)三層體系中金屬薄膜表面的溫度變化T(0)在熱擴(kuò)散條件下是一維的充分通過(guò)金屬薄膜/薄膜，下面的公式用于表示傳熱模型的解析解。

(Λ: 導(dǎo)熱系數(shù) W m ^-1 K ^-1 , C: 體積比熱容 JK ^-1 m ^-3 , q: 每體積熱量 W m ^-3 , d: 厚度 m, ω: 角頻率 (= 2πf) / 秒^-1 )

由于實(shí)數(shù)解（同相幅度）包含薄膜的信息，因此在相同條件下在不同頻率下進(jìn)行測(cè)量時(shí)，同相幅度與（2ω）^-0.5成正比。
薄膜的熱導(dǎo)率λ ₁由下式獲得。
（M：斜率，n：截距）

TCN-2ω示意圖

TCN-2ω對(duì)SiO ₂薄膜的測(cè)量結(jié)果

薄膜的評(píng)價(jià)

測(cè)量樣品