-
技術(shù)文章ARTICLE
Techvision UVC-200/300：365nm水冷UV-LED晶圓固化系統(tǒng)的低溫固化技術(shù)突破
發(fā)布時(shí)間： 2026-02-06 點(diǎn)擊次數(shù)： 20次產(chǎn)品定位日本Techvision推出的UVC-200/300系列，是專為半導(dǎo)體晶圓UV膠帶剝離工藝設(shè)計(jì)的桌面型UV-LED固化裝置。UVC-200對(duì)應(yīng)8英寸晶圓，UVC-300對(duì)應(yīng)12英寸晶圓，另提供全自動(dòng)Cassette-to-Cassette機(jī)型（UVC-200A/300A）。2. 核心技術(shù)創(chuàng)新- 365nm單波長(zhǎng)冷光源：采用水冷散熱高功率LED驅(qū)動(dòng)，輸出250mW/cm2，消除傳統(tǒng)汞燈的紅外熱輻射，實(shí)現(xiàn)真正的常溫照射，保護(hù)熱敏晶圓
- 往復(fù)掃描曝光：光源橫向掃描+晶圓旋轉(zhuǎn)，確保全區(qū)域光照均勻，避免局部欠固化
- 低耗N?吹掃：內(nèi)置自動(dòng)氮?dú)庵脫Q，抑制氧氣阻聚，氣體消耗量比傳統(tǒng)系統(tǒng)降低30%
3. 關(guān)鍵參數(shù)指標(biāo) 參數(shù) 光源波長(zhǎng) 365nm 照射強(qiáng)度 250mW/cm2（距工件10mm） 支持晶圓 200mm/300mm 冷卻方式 水冷+風(fēng)冷 光源壽命 >20,000小時(shí) 手動(dòng)型尺寸 750×640×575mm 4. 應(yīng)用價(jià)值針對(duì)晶圓減薄/切割后的UV膠帶光降解工藝，實(shí)現(xiàn)芯片無(wú)損拾取、無(wú)殘膠剝離。相比2kW高壓汞燈，LED方案啟動(dòng)瞬間完成、能耗降低60%以上、無(wú)汞環(huán)保、光源冷態(tài)可維護(hù)，是半導(dǎo)體后道制程光固化的技術(shù)換代方案。
產(chǎn)品中心
Products
-
農(nóng)用機(jī)械
-
質(zhì)構(gòu)儀
-
糖度計(jì)
-
測(cè)試儀
-
氣泵
-
成分分析儀
-
分析儀器
-
試驗(yàn)機(jī)
-
檢查燈
-
研磨介質(zhì)球
-
光學(xué)儀器
-
檢驗(yàn)儀
-
鑒別儀
-
濃度計(jì)
-
涂布機(jī)
-
超聲波均質(zhì)機(jī)
-
傳感器
-
壓力表
-
位儀計(jì)
-
露點(diǎn)儀
-
數(shù)字水平儀
-
水分計(jì)
-
溫度計(jì)
-
厚度計(jì)
-
光度計(jì)
-
焊接機(jī)
-
切割機(jī)
-
應(yīng)力儀
-
水平儀
-
均質(zhì)機(jī)
-
診斷儀
-
控制器
-
馬達(dá)
-
去除機(jī)
-
零件進(jìn)料器
-
研磨計(jì)
-
真空計(jì)
-
球閥
-
點(diǎn)膠機(jī)
-
粘度計(jì)
-
過(guò)濾器
-
照度計(jì)
-
點(diǎn)焊機(jī)
-
混合機(jī)
-
伊原電子密度計(jì)
-
塑料粒子色選機(jī)
-
臭氧儀
-
質(zhì)量計(jì)
-
錘磨機(jī)
-
密度計(jì)
-
張力計(jì)
-
監(jiān)測(cè)儀
-
比色計(jì)
-
電導(dǎo)率儀
-
冷卻器
-
離子計(jì)
-
粉碎設(shè)備
-
耗材/配件
-
傳熱設(shè)備
-
測(cè)量/計(jì)量?jī)x器
-
大米樣品保存箱
-
研究用小型色選機(jī)
-
光源
-
陶瓷材料
-
水質(zhì)檢測(cè)設(shè)備
-
物性檢測(cè)設(shè)備
-
氣體檢測(cè)儀
-
茶葉生產(chǎn)線
-
日本進(jìn)口
-
行業(yè)專用儀器
-
電氣設(shè)備
-
加熱裝置
-
水產(chǎn)設(shè)備
