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KAGATECHNO石英在線加熱器：半導體藥液循環(huán)
發(fā)布時間： 2026-02-06 點擊次數(shù)： 20次1. 產(chǎn)品定位日本加賀テクノ（KAGATECHNO）石英在線加熱器，專為半導體濕法工藝中藥液循環(huán)加熱設(shè)計，適用于氨水過氧化物（SC-1）、磷酸等腐蝕性藥液，應(yīng)用于氮化硅刻蝕及擴散前清洗工序。2. 核心技術(shù)- Inconel網(wǎng)目發(fā)熱體：鎳鉻鐵合金直接熔接于石英筒外壁，耐腐蝕、抗空燒，解決傳統(tǒng)繞線加熱器斷線及氣囊積聚導致的局部過熱問題
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3. 關(guān)鍵參數(shù)指標 參數(shù) 功率 2.2/4.4/6.5kW 電壓 單相200V 溫度 室溫～160℃ 適用藥液 SC-1、磷酸 接頭 3/4英寸石英法蘭 4. 應(yīng)用價值直通式結(jié)構(gòu)無液滯留，在線串聯(lián)于循環(huán)回路實現(xiàn)精準溫控。相比投浸式加熱器，支持不停機維護，熱響應(yīng)更快，是RCA清洗及氮化硅刻蝕等關(guān)鍵工序的高可靠性加熱解決方案。
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